摘 要:文章阐述了无锡半导体装备产业发展现状,深刻剖析了半导体装备产业面临的机遇与挑战,探讨了无锡半导体装备产业发展的路径,如开展关键核心技术攻关、引进一批国内外半导体装备龙头企业、引进和培养专业人才等(试读)...